Nehmen Sie die Multi-ARC-Beschichtungsmaschine als Beispiel, seine Struktur kann grob in drei Hauptteile unterteilt werden. Der erste ist der Vakuumkammerhohlraum, der der Kern der gesamten Ausrüstung ist und zur Aufrechterhaltung einer hohen Vakuumumgebung während des Beschichtungsverfahrens verwendet wird. Das zweite ist das Einheitsteil, einschließlich Pipelineventile und verschiedenen Pumpen, die zusammenarbeiten, um den Vakuumzustand in der Vakuumkammer aufrechtzuerhalten. Schließlich gibt es das elektrische Steuerungssystem, das das Gehirn der gesamten Geräte ist und für die Regulierung des Betriebs jeder Komponente verantwortlich ist, um den reibungslosen Fortschritt des Beschichtungsprozesses zu gewährleisten.
Der Vakuumkammerhohlraum besteht normalerweise aus hochfesten Materialien, um sicherzustellen, dass sie unter hoher Temperatur und hohem Druck stabil bleibt. Innerhalb des Hohlraums gibt es mehrere Support -Punkte, um die zu plattenden Werkstücke zu beheben, damit sie ihre Positionen während des Beschichtungsprozesses unverändert halten können. Gleichzeitig ist der Hohlraum sehr gut versiegelt und kann die Lufteingabe effektiv verhindern, um eine Vakuumumgebung zu gewährleisten.
Das Einheitsteil umfasst verschiedene Arten von Pumpen, wie z. B. mechanische Pumpen, molekulare Pumpen usw., die überschüssiges Gas in der Vakuumkammer durch Pumpen der Luft erschöpfen, um den erforderlichen Vakuumgrad aufrechtzuerhalten. Darüber hinaus ist auch die Einstellung der Pipelineventile sehr kritisch. Sie können den Gas- und Materialstrom genau steuern, um die Materialversorgung und Gasentladung während des Beschichtungsverfahrens sicherzustellen.
Das elektrische Steuerungssystem ist das Gehirn des gesamten Geräts. Es überwacht verschiedene Parameter in der Vakuumkammer in Echtzeit, wie Vakuumgrad, Temperatur, Druck usw. durch verschiedene Sensoren und Aktuatoren und passt automatisch gemäß dem voreingestellten Programm ein. Darüber hinaus kann das elektrische Steuerungssystem auch den Betriebsstatus der Geräte überwachen. Sobald eine Anomalie auftritt, kann sie rechtzeitig einen Alarm ausgeben, um den sicheren Betrieb der Geräte zu gewährleisten.
Im Allgemeinen berücksichtigt die strukturelle Gestaltung der Multi-ARC-Beschichtungsmaschine alle Aspekte des Beschichtungsprozesses vollständig und sorgt für die Konsistenz und Stabilität der Beschichtungsqualität durch präzise Struktur und fortschrittliches Steuerungssystem.
