Die Hochfrequenz-Induktionsverdampfungsbeschichtungstechnologie wird üblicherweise zum Beschichten flexibler Dünnschichtmaterialien verwendet. Es ist hocheffizient, erzeugt gleichmäßige Filmschichten und erzeugt keine Tröpfchen. Es wird häufig im Bereich der Gold- und Silberdrähte eingesetzt und allgemein als Hochfrequenz-Induktionsverdampfungs-Vakuumbeschichtungsanlage bezeichnet.
Eine Hochfrequenz-Induktionsverdampfungsquelle platziert einen Graphit- oder Keramiktiegel, der das Verdampfungsmaterial enthält, in der Mitte einer wassergekühlten Hochfrequenz-Spiralspule. Durch die Induktion des Magnetfelds im Hochfrequenzband erzeugt das Verdampfungsmaterial starke Wirbelstromverluste und Hystereseverluste (bei ferromagnetischen Materialien), wodurch sich das Material erhitzt, bis es verdampft. Je kleiner das Volumen des Folienmaterials ist, desto höher ist die Induktionsfrequenz. In Großanlagen zur kontinuierlichen Vakuum-Aluminiumbeschichtung von Stahlbändern hat der Verdampfungsprozess mit Hochfrequenz-Induktionserwärmung zufriedenstellende Ergebnisse erzielt.
Merkmale von Hochfrequenz-Induktionsverdampfungsquellen:
1) Hohe Verdunstungsrate, etwa zehnmal schneller als Widerstandsverdunstungsquellen;
2) Gleichmäßige und stabile Temperatur, weniger anfällig für Spritzer;
3) Wenn das Verdampfungsmaterial metallisch ist, erzeugt es Wärme;
4) Durch einmaliges-Beladen entfällt die Notwendigkeit eines Zuführmechanismus, wodurch die Temperaturkontrolle und die Bedienung einfacher werden.
Die Hochfrequenz-Induktionsverdampfungsbeschichtungstechnologie ist eine Art Verdampfungsbeschichtung, und je nach Anwendungsbereich werden unterschiedliche Verdampfungsbeschichtungsverfahren verwendet. Bei der Hochfrequenz-Induktionsverdampfung von Rolle{3}}zu-Vakuumbeschichtungsanlagen handelt es sich hauptsächlich um eine Beschichtungstechnologie und -ausrüstung zur Vorbereitung von Rolle{5}}zu-Dünnschichtmaterialien.
