Eins. Umweltanforderungen für die Vakuumbeschichtung.
Bei der Vakuumbeschichtung ist die Oberflächenreinheit des Substrats (Wafers) von entscheidender Bedeutung. Bevor die Substrate in die Beschichtungskammer gelangen, sollten sie einer gründlichen Vorbeschichtungsreinigung unterzogen werden, um Öl, Schmutz und Feuchtigkeit zu entfernen.
Oberflächenverunreinigungen auf Substraten entstehen durch verschiedene Substanzen wie Staub, Schmiermittel, Motoröl, Polierpaste, Fett und Schweiß, die während der Verarbeitung, des Transports und der Verpackung an Teilen haften; Oxidfilme, die sich in feuchter Luft auf der Oberfläche von Teilen bilden; und Gase, die auf der Oberfläche von Teilen absorbiert und adsorbiert werden. Hersteller von Vakuumbeschichtungen können diese Verunreinigungen im Allgemeinen durch Entfetten oder chemische Reinigungsverfahren entfernen.
Saubere Oberflächen sollten nach der Reinigung nicht im Freien, sondern in verschlossenen Behältern oder Reinraumschränken gelagert werden, um eine Staubkontamination zu minimieren. Durch die Lagerung von Glassubstraten in frisch oxidierten Aluminiumbehältern kann die Adsorption von Kohlenwasserstoffdämpfen minimiert werden, da diese Behälter bevorzugt Kohlenwasserstoffe adsorbieren. Sehr instabile und wasserdampfempfindliche Oberflächen sollten grundsätzlich in einem Vakuumtrockenschrank gelagert werden. Das Entfernen von Staub aus der Beschichtungskammer, die Aufrechterhaltung eines sauberen Arbeitsbereichs und die Aufrechterhaltung eines hohen Grades an Sauberkeit sind grundlegende Umweltanforderungen für den Beschichtungsprozess. In Bereichen mit hoher Luftfeuchtigkeit sind neben der sorgfältigen Reinigung des Substrats und aller Komponenten innerhalb der Vakuumkammer vor der Beschichtung auch ein Einbrennen und Entgasen erforderlich. Um zu verhindern, dass Öl in die Vakuumkammer gelangt, achten Sie auf den Ölrückfluss von der Öldiffusionspumpe und ergreifen Sie Ölblockierungsmaßnahmen für Diffusionspumpen mit hoher Erwärmung.
Grundprinzipien der Beschichtung und Filmbeschichtung
A. Rohstoffe und Grundprinzipien:
Bei den Rohstoffen handelt es sich in der Regel um Harze, Polymere, Teflon, Silikon, Acrylsäure, Silikate etc., die Hilfsstoffe, Rezepturen und Mengen variieren jedoch. Beispielsweise variiert die Menge des zugesetzten Emulgators, was zu unterschiedlichen Emulgierungszuständen führt, die von wasser-artig bis milchig und pastös-artig reichen. Nach der Emulgierung und Demulgierung dringen diese Stoffe teilweise ein oder bilden einen dünnen Film.
B. Merkmale und Unterschiede von Vakuumbeschichtungsmaschinen:
Vakuumbeschichtungsmaschinen bieten eine hervorragende Penetration (abhängig von der Partikelgröße des Rohmaterials) und eine hervorragende Oberflächenglätte. Sie eignen sich besonders für europäische und amerikanische Fahrzeuglacke mit zahlreichen Poren, rauen Oberflächen, starken Lackierungen oder harten Lacken, die einen erhöhten Glanz erfordern.
Vakuumbeschichtungsmaschinen: Beschichtungsprodukte enthalten filmbildende Zusätze und Härter. Vakuumbeschichtungshersteller erzeugen einen Sofortfilm, der die Eigenschaften entsprechend verändert.
