Das Prinzip der Vakuumröhrenbeschichtung in Vakuumbeschichtungsmaschinen besteht darin, dass Elektronen, die unter dem Einfluss eines elektrischen Feldes in Richtung Substrat beschleunigt werden, mit Argonatomen kollidieren und zu einer großen Anzahl von Argonionen und Elektronen ionisieren. Die Elektronen fliegen dann in Richtung Substrat. Durch das elektrische Feld beschleunigte Argonionen bombardieren das Targetmaterial und zerstäuben eine große Anzahl von Targetatomen, die sich als neutrale Targetatome (oder Moleküle) auf dem Substrat ablagern und einen Film bilden. Sekundärelektronen werden während ihrer Beschleunigung in Richtung des Substrats durch die Lorentzkraft des Magnetfelds beeinflusst und sind auf einen Plasmabereich nahe der Targetoberfläche beschränkt. Dieser Bereich weist eine hohe Plasmadichte auf und die Sekundärelektronen bewegen sich unter dem Einfluss des Magnetfelds in kreisförmigen Bewegungen um die Targetoberfläche.
Dieser lange Bewegungsweg beinhaltet kontinuierliche Kollisionen mit Argonatomen, die in eine große Anzahl von Argonionen ionisieren, die das Zielmaterial bombardieren. Nach mehreren Kollisionen verlieren die Elektronen nach und nach Energie, lösen sich aus den magnetischen Feldlinien, entfernen sich vom Zielmaterial und lagern sich schließlich auf dem Substrat ab. Durch die Hinzufügung eines Mittelfrequenz-Magnetron-Sputtertargets werden nun die verdampfenden Moleküle des Films beschleunigt und durch das Targetmaterial unter der Wirkung eines elektrischen Feldes bombardiert, wodurch eine große Anzahl von Targetatomen herausgesputtert wird.
Die neutralen Zielatome (oder Moleküle) werden auf dem Substrat abgeschieden, um einen Film zu bilden, der das Problem von Filmtypen löst, die in der Vergangenheit nicht durch natürliche Verdampfung verarbeitet werden konnten, wie z. B. Titanplattierung, Zirkoniumplattierung usw.
Derzeit werden in Vakuumröhren häufig Aluminium-{0}}Stickstoff-Verbundfolien verwendet. Der gesamte Film besteht aus drei Schichten: einer inneren, einer mittleren und einer äußeren, von denen jede ihre eigene Funktion hat. Die innere Schicht ist eine reflektierende Schicht, deren Hauptfunktion darin besteht, zu verhindern, dass die Wärme des heißen Wassers im Rohr nach außen abstrahlt.
Die mittlere Schicht ist eine Absorptionsschicht, deren Hauptfunktion darin besteht, Lichtenergie zu absorbieren und in Wärmeenergie umzuwandeln.
Die äußere Schicht ist eine Antireflexionsschicht, deren Hauptfunktion darin besteht, die Reflexion des Sonnenlichts zu reduzieren und die Absorptionsrate des Sonnenlichts zu erhöhen.
