Einführung in die Vakuumbeschichtungsmaschine

Das zu beschichtete Substrat wird als Substrat bezeichnet und das zu beschichtete Material wird als Ziel bezeichnet. Das Substrat und das Ziel befinden sich in derselben Vakuumkammer.
Verdunstungsbeschichtung erwärmt das Ziel im Allgemeinen so, dass die Oberflächenkomponenten in Form von atomaren Gruppen oder Ionen verdampft werden. Und es setzt sich auf der Oberfläche des Substrats fest und bildet einen dünnen Film durch den Filmforming-Prozess (verstreute Punkte-Island-Struktur-Vagal-Strukturwachstum). Für die Sputterbeschichtung kann einfach verstanden werden, wie das Ziel mit Elektronen oder Hochenergielasern bombardiert, die Oberflächenkomponenten in Form von Atomgruppen oder Ionen sputtern und schließlich auf der Oberfläche des Substrats abgelagert, den Filmforming-Prozess unterzogen werden und schließlich einen dünnen Film bildet.