Bei Magnetron-Sputter-Vakuumbeschichtungsmaschinen wird das zu beschichtende Material als Substrat und das zu beschichtende Material als Target bezeichnet. Sowohl das Substrat als auch das Target befinden sich in der Vakuumkammer. Bei der Aufdampfbeschichtung wird typischerweise das Target erhitzt, um Oberflächenkomponenten in Form von Atomclustern oder Ionen zu verdampfen. Diese verdampften Komponenten lagern sich dann auf der Substratoberfläche ab und bilden durch einen Film-Bildungsprozess einen dünnen Film (verstreute-Inselstruktur-wandernde Struktur-Schichtwachstum).
Beim Sputtern von Beschichtungen kann man es einfach so verstehen, dass man Elektronen oder hochenergetische Laser verwendet, um das Ziel zu bombardieren und Oberflächenkomponenten in Atomcluster oder Ionen zu zerstäuben, die sich dann auf der Substratoberfläche ablagern und einen Filmbildungsprozess durchlaufen, um letztendlich einen dünnen Film zu bilden.
Betriebsabläufe: Schaltschrankbetrieb
1. Schalten Sie die Wasserpumpe und die Luftzufuhr ein.
2. Schalten Sie die Hauptstromversorgung ein.
3. Schalten Sie die Haltepumpe und das Vakuummessgerät ein. Stellen Sie das Vakuummessgerät auf die Position V1 und warten Sie, bis der Wert unter 10 liegt, bevor Sie mit dem nächsten Schritt fortfahren. Dies dauert etwa 5 Minuten.
4. Schalten Sie die mechanische Pumpe zur Vor-Evakuierung ein. Schalten Sie die Turbomolekularpumpe ein und starten Sie sie. Stellen Sie den Vakuummeterschalter auf V2 und evakuieren Sie, bis der Wert unter 2 liegt. Dies dauert etwa 20 Minuten.
5. Nachdem der Messwert der Turbomolekularpumpe 250 erreicht hat, schalten Sie die Vorevakuierung aus. Schalten Sie die Vorpumpe und das Hochvakuumventil ein, um mit der Evakuierung fortzufahren. Erst nach Erreichen eines bestimmten Vakuumniveaus können Sie das Hochvakuummessgerät rechts einschalten und den Vakuumgrad beobachten. Die Stromversorgung der Elektronenkanone kann erst eingeschaltet werden, wenn das Vakuum 2 × 10⁻³ erreicht.
DEF-6B-Betrieb:
1. Hauptstrom.
2. Schalten Sie Electron Gun Control I und Electron Gun Control II gleichzeitig ein: Drücken Sie den Netz- und Verzögerungsschalter für Electron Gun Control I. Die Verzögerungs-, Strom- und Schutzleuchten leuchten auf. Nach drei Minuten erlöschen die Verzögerungs- und Schutzleuchten. Wenn die Hecktür nicht richtig geschlossen ist oder das Wasserdurchflussrelais nicht funktioniert, bleibt die Schutzleuchte eingeschaltet.
3. Schalten Sie die Hochspannung ein. Die Hochspannung wird über 10 kV erreichen. Stellen Sie den Strahlstrom auf etwa 200 mA ein. Das Schirmgitter beträgt 20V/100mA, der Wendelstrom beträgt 1,2A und der Ablenkstrom schwankt zwischen 1 und 1,7A.
