Obwohl es viele Arten von Ionenquellen gibt, ist ihr Zweck im Wesentlichen derselbe: Online-Reinigung, Verbesserung der Energieverteilung auf der plattierten Oberfläche und Modulation der Energie des Reaktionsgases. Ionenquellen können die Bindungsstärke zwischen Film und Substrat erheblich verbessern und gleichzeitig die Härte sowie die Verschleiß- und Korrosionsbeständigkeit des Films verbessern. Für Werkzeugverschleiß-beständige Schichten, die im Allgemeinen dicker sind und keine hohe Gleichmäßigkeit der Filmdicke erfordern, können Ionenquellen mit höheren Ionenstrom- und Energieniveaus, wie etwa Hall-Ionenquellen oder Anolyt-Ionenquellen, verwendet werden.
Anodische Ionenquellen funktionieren nach einem ähnlichen Prinzip wie Hall-Ionenquellen. Innerhalb eines schmalen ringförmigen (rechteckigen oder kreisförmigen) Schlitzes wird ein starkes Magnetfeld angelegt, das das Arbeitsgas unter dem Einfluss der Anode ionisiert und auf das Werkstück richtet. Anodische Ionenquellen können sehr groß und lang gebaut werden, wodurch sie sich besonders für die Beschichtung großer Werkstücke, wie beispielsweise Architekturglas, eignen. Außerdem bieten sie einen relativ großen Ionenstrom. Allerdings ist ihr Ionenstrom diffuser und die Energieniveauverteilung zu breit. Sie eignen sich grundsätzlich für große Werkstücke, Glas, abrasive Oberflächen und dekorative Bauteile. Ihre Anwendung in modernen optischen Beschichtungen ist jedoch nicht weit verbreitet.
Obwohl es viele Arten von Ionenquellen gibt, ist ihr Zweck im Wesentlichen derselbe: Online-Reinigung, Verbesserung der Energieverteilung auf der plattierten Oberfläche und Modulation der Energie des Reaktionsgases. Ionenquellen können die Bindungsstärke zwischen Film und Substrat erheblich verbessern und gleichzeitig die Härte sowie die Verschleiß- und Korrosionsbeständigkeit des Films verbessern. Für Werkzeugverschleiß-beständige Schichten, die im Allgemeinen dicker sind und keine hohe Gleichmäßigkeit der Filmdicke erfordern, können Ionenquellen mit höheren Ionenstrom- und Energieniveaus, wie etwa Hall-Ionenquellen oder Anolyt-Ionenquellen, verwendet werden.
Anodische Ionenquellen funktionieren nach einem ähnlichen Prinzip wie Hall-Ionenquellen. Innerhalb eines schmalen ringförmigen (rechteckigen oder kreisförmigen) Schlitzes wird ein starkes Magnetfeld angelegt, das das Arbeitsgas unter dem Einfluss der Anode ionisiert und auf das Werkstück richtet. Anodische Ionenquellen können sehr groß und lang gebaut werden, wodurch sie sich besonders für die Beschichtung großer Werkstücke, wie beispielsweise Architekturglas, eignen. Außerdem bieten sie einen relativ großen Ionenstrom. Allerdings ist ihr Ionenstrom diffuser und die Energieniveauverteilung zu breit. Sie eignen sich grundsätzlich für große Werkstücke, Glas, abrasive Oberflächen und dekorative Bauteile. Ihre Anwendung in modernen optischen Beschichtungen ist jedoch nicht weit verbreitet.
Die Hall-Ionenquelle in aVakuumbeschichtungsmaschineionisiert das Prozessgas mithilfe eines starken axialen Magnetfelds. Das starke Ungleichgewicht dieses axialen Magnetfelds trennt die Gasionen und bildet einen Ionenstrahl. Aufgrund der Stärke des axialen Magnetfelds benötigt der Ionenstrahl der Hall-Ionenquelle zusätzliche Elektronen, um den Ionenfluss zu neutralisieren. Eine übliche Neutralisationsquelle ist ein Wolframfaden (Kathode).
