Die Siegelleistung ist ein entscheidender Aspekt bei der Konstruktion von Vakuumbeschichtungsanlagen, da ihre Qualität direkten Einfluss darauf hat, ob das für die Beschichtung erforderliche Vakuumniveau während des anschließenden Vakuumprozesses erreicht werden kann. Wird diese Anforderung nicht erfüllt, wirkt sich dies direkt auf die Bildung und Qualität des Films aus. Um eine gute Dichtleistung von Vakuumbeschichtungsgeräten oder -systemen zu gewährleisten, reicht es bei weitem nicht aus, Lecks nach der Installation einfach zu lokalisieren und zu blockieren. Es ist notwendig, in allen Phasen der Konstruktion, Herstellung, Inbetriebnahme und Verwendung der Vakuumbeschichtungsausrüstung oder des Vakuumbeschichtungssystems eine Vakuumlecksuche durchzuführen.
Designüberlegungen fürVakuumbeschichtungsmaschine
1. Bestimmen Sie die maximal zulässige Gesamtleckagerate der Vakuumausrüstung basierend auf den Prozessanforderungen und bestimmen Sie dann die maximal zulässige Leckagerate jeder Komponente basierend auf dieser Gesamtleckagerate.
2. Bestimmen Sie auf der Grundlage der maximal zulässigen Leckagerate und anderer Indikatoren der Ausrüstung vorab die Leckerkennungsmethoden, die während der Entwurfsphase verwendet werden sollen, und verwenden Sie diese als eines der Grundprinzipien für die Inbetriebnahme und Abnahme.
3. Bestimmen Sie anhand der maximal zulässigen Leckratenindikatoren der Ausrüstung oder Komponenten die Dichtungs- und Verbindungsmethoden und die Gesamtbearbeitungsgenauigkeit der Ausrüstung sowie den dynamischen Dichtungstyp, der die Anforderungen erfüllen kann. Zum Beispiel, ob Metalldichtungen oder Gummidichtungen für Flansche verwendet werden sollen.
4. Berücksichtigen Sie bei der Auslegung der strukturellen Festigkeit des Behälters die Druckfestigkeit und strukturelle Festigkeit, die für die getestete Komponente erforderlich sind, wenn eine Druckleckerkennungsmethode verwendet wird.
5. Berücksichtigen Sie bei der Auswahl von Strukturmaterialien für Komponenten, ob Materialien verwendet werden, die durch das Arbeitsmedium und das Leckprüfgas korrodieren und beschädigt werden können.
6. Während des Strukturentwurfs sollten am Behälter oder System die erforderlichen Ersatzschnittstellen für Leckerkennungsinstrumente bereitgestellt werden, die bei der Montage und Inbetriebnahme der Ausrüstung verwendet werden können. Insbesondere bei großen und komplexen Rohrleitungssystemen sind häufig segmentierte Lecksuchmethoden erforderlich; Daher sollten in der Rohrleitung segmentierte Absperrventile installiert werden und an jedem Absperrsegment sollten Schnittstellen für Leckerkennungsinstrumente reserviert werden.
7. Vermeiden Sie beim Entwurf der Strukturkomponenten Entwurfsschemata, die die Leckerkennung beeinträchtigen könnten. Sacklöcher sollten beispielsweise nicht für Schraubenlöcher in der Vakuumkammer verwendet werden, da nach dem Einbau der Schraube das Gas im verbleibenden Raum innerhalb des Schraubenlochs nur durch den Gewindespalt entweichen kann und ein Scheinleck entsteht. Dies verlängert die Evakuierungszeit des Systems und beeinträchtigt die normale Leckerkennung. Sehen Sie sich das Diagramm für Strukturen an, die bei der Vakuum-Lecksuche nicht auftreten sollten.
8. Ebenso sind durchgehende doppelseitige Schweißnähte und mehrschichtige Dichtungsringstrukturen in der Strukturkonstruktion nicht zulässig, da dadurch in der Mitte ein „parasitäres Volumen“ entsteht, das zum Austreten des darin befindlichen Gases führt. Wenn außerdem sowohl die inneren als auch die äußeren Schweißnähte oder Dichtungsringe gleichzeitig lecken, führt das „parasitäre Volumen“ dazu, dass die Reaktionszeit des austretenden Gases, um durch die doppelschichtige Schweißnaht zu gelangen, zu lang wird, was eine normale Leckerkennung unmöglich macht.
9. Minimieren Sie bei der Konstruktion von Schweißkonstruktionen die Anzahl der Schweißnähte, bei denen nach der Endmontage keine Undichtigkeiten festgestellt werden können.
Bei den oben genannten Punkten handelt es sich um Vorsichtsmaßnahmen zur Lecksuche in Vakuumbeschichtungsanlagen. Die Qualität der Dichtungsleistung bestimmt direkt, ob die Ausrüstung erfolgreich angenommen werden kann und ob ihre Qualität den Standards entspricht.
