Funktionsprinzip
Das Kernprinzip von Vakuumbeschichtungsgeräten besteht darin, die Materialquelle in einer Vakuumumgebung zu verdampfen oder zu ionisieren und dann die erzeugten Atome, Moleküle oder Ionen auf der Oberfläche des Zielsubstrats abzuscheiden, um einen oder mehrere dünne Filme zu bilden.
In einer hochvakuumversiegelten Kammer hält ein Magnetfeld Elektronen fest, um Argongas zu ionisieren. Die resultierenden Argonionen bombardieren ein Metall- oder Oxidtarget, wodurch Targetatome abgesputtert und auf der Oberfläche eines Werkstücks abgeschieden werden, das auf dem rotierenden Gestell der Kammer montiert ist, wodurch ein dichter, nanoskaliger Dünnfilm entsteht. Das System unterstützt DC-, MF- und RF-Sputterstromversorgungen und nimmt sowohl leitende als auch isolierende Targets auf, ein Multi-Target Die Konfiguration ermöglicht das Co-Sputtern zur Herstellung von ein--schichtigen und mehrschichtigen Verbundfilmen.
Ausstattungsmerkmale
Die Beschichtungsqualität ist stabil und gleichmäßig, mit starker Haftung
Ein Planetendrehtisch treibt die Werkstücke in Rotation durch die Kammer und sorgt so für eine gleichmäßige Filmdicke über die gesamte Charge und verhindert ein Abblättern oder Abblättern. Die Beschichtungen sind von hoher Reinheit und das System kann Metall-, Legierungs- und dielektrische Oxidfilme erzeugen.
Unterstützt Niedertemperaturbeschichtungen und bietet eine breite Substratkompatibilität
Standardmäßig mit einer Niedertemperatur-Ionenquelle ausgestattet, die eine Beschichtung bei Raumtemperatur mit minimalem Temperaturanstieg des Werkstücks ermöglicht und so Verformungen durch hohe Hitze verhindert.
Flexible Prozessmöglichkeiten, Multi{0}}Target-Co-Sputtern
Die Kammer kann mit mehreren Magnetron-Targets konfiguriert werden, was die gleichzeitige Beladung verschiedener Targetmaterialien ermöglicht.
Die vollautomatische Closed-Loop-Steuerung über eine SPS gewährleistet eine einfache Bedienung
Vakuumevakuierung, Argongasfluss, Sputterleistung, Drehgeschwindigkeit des Drehtellers und Ionenquellenparameter werden alle automatisch gesteuert. Das System verfügt über ein Touchscreen-HMI und ermöglicht die Voreinstellung mehrerer Beschichtungsrezepte.
Vakuumkammern, unterstützt nicht{0}}standardmäßige Anpassungen
Einfache Wartung, stabiles Vakuumsystem
Anwendungen:
Badezimmerarmaturen, Duschen, Uhrengehäuse/-armbänder, Brillengestelle, Geschirr, Handyhüllen, Notebooktaschen, bereiten verschiedene farbige Dekorfolien, Anti{0}}Fingerabdruckfolien und korrosionsbeständige-Schutzfolien vor.
Filmvorteile
Hohe Beschichtungsdichte und extrem geringe Porosität
Durch Magnetronsputtern abgeschiedene Atome besitzen eine hohe Energie, was eine starke Oberflächenmobilität und eine dichte Packung ermöglicht
Praktisch frei von Nadellöchern-mit minimaler Porosität
Korrosions- und Oxidationsbeständigkeit deutlich besser als im Vakuum aufgedampfte Beschichtungen
Hervorragende Leistung im Salzsprühtest; Geeignet für Korrosionsschutz- und dekorative Anwendungen an Badezimmerarmaturen, Beschlägen und Außenkomponenten
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